金融界2025年6月2日消息，国家知识产权局信息显示，天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请一项名为“一种超原子束源筛选装置”的专利，公开号CN120072380A，申请日期为2025年02月。

专利摘要显示，本发明属于半导体材料加工技术领域，公开一种超原子束源筛选装置。超原子束源筛选装置包括支撑座、外壳体、内壳体、磁体组件、夹层和盖体组件，磁体组件设于外壳体和内壳体之间；夹层设于外壳体和磁体组件之间；盖体组件包括第一盖体和第二盖体，第一盖体和第二盖体分别设于外壳体的两端。离子化后的超原子束源进入内壳体的通道内，通过设置磁体组件，磁体组件能够产生磁场，使超原子束源离子化后的超原子离子平行于通道射出，使单原子离子偏转并碰撞通道的内壁，进而将单原子离子筛除，从而实现了对超原子束源的筛选，提高了工艺效果。通过设置第一盖体和第二盖体对外壳体内部的结构进行保护。通过设置夹层，方便对磁体组件进行固定。

本文源自：金融界

作者：情报员