金融界2025年6月3日消息，国家知识产权局信息显示，昆山振业杨亭精密机械有限公司取得一项名为“一种夹持精度高的光刻机用机械手”的专利，授权公告号CN222932781U，申请日期为2024年08月。

专利摘要显示，本实用新型公开了光刻机机械手部件技术领域的一种夹持精度高的光刻机用机械手，其结构合理，本实用新型通过将两组机械手由移动座B以螺纹连接的方式安装在驱动箱上的左右螺纹杆外壁两侧，并将机械手上下方设置夹持头，中间部分安装真空吸盘，根据真空吸盘搭配夹持板由导向柱以滑动的方式对接在机械手上的导向孔内，再根据真空吸盘位置大于夹持头位置，使其电机B驱动控制两组机械手对晶圆采取夹持处理时，真空吸盘预先对晶圆中部采取夹持，而随后夹持头再对晶圆的上下方采取夹持，采用两种方式的夹持处理，保障其中一种夹持方式出现问题，另一种方式继续保持夹持状态。

本文源自：金融界

作者：情报员