苏州晶湛半导体申请一种半导体结构及其制造方法专利,提高二维电子气浓度
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金融界2025年6月3日消息,国家知识产权局信息显示,苏州晶湛半导体有限公司申请一项名为“一种半导体结构及其制造方法”的专利,公开号CN120091586A,申请日期为2023年11月。
专利摘要显示,本公开提供了一种半导体结构及其制造方法,半导体结构包括依次层叠设置的衬底、缓冲层、第一沟道层、刻蚀掩膜层、第一势垒层、第二沟道层以及第二势垒层;其中,刻蚀掩膜层为多个条状结构,相邻两个条状结构之间为条状凹槽,条状凹槽的延伸方向为第一方向,条状凹槽贯穿刻蚀掩膜层且部分贯穿第一沟道层,第一势垒层保形地设置于条状凹槽中和刻蚀掩膜层上,第一势垒层包括对应条状凹槽的第二凹槽。
本文源自:金融界
作者:情报员
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