金融界2025年6月11日消息,国家知识产权局信息显示,晶赫泰科技有限公司申请一项名为“一种具有多个沉积位点的长晶装置与其制程”的专利,公开号CN120119332A,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,本发明揭示一种具有多个沉积位点的长晶装置,主要包括:一加热腔体,内部设置有一可旋转的支柱;至少一加热承载组件,连接于该支柱上,该加热承载组件包含一坩埚,一过滤器,复数个沉积位点,该坩埚有复数个来源材料;一热发生器,设置在该加热腔体内部,用于提供该热能给该加热腔体;以及复数个刚性装置,作为辅助加热器或沉积散热器,以使得该加热腔体内部的至少一热场形成具有2D或3D热梯度。本发明更揭示一种具有多个沉积位点的长晶制程。通过在多个沉积位点上形成2D或3D热梯度,稳定地快速制造缺陷少的化合物晶体

本文源自:金融界

作者:情报员