2025年6月13日，半导体设备材料ETF(159516.SZ)收涨0.61%，成交1.53亿元。净流出3064.04万元（净赎回份额*单位净值），居可比基金首位。

资金流出也带来了份额的减少，该基金最新份额较前一日减少3100.00万份，达23.05亿份。与此同时，该基金最新规模达22.78亿元。

半导体设备材料ETF(159516.SZ)，场外联接(A：019632；C：019633)。