金融界2025年6月18日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“检测晶圆表面液膜的微电极导电系统、制备和检测方法”的专利，公开号CN120161091A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明提供了一种检测晶圆表面液膜的微电极导电系统、制备和检测方法，包括：衬底、设于衬底上的隔离结构以及设于隔离结构中的多个检测电极，检测电极的顶面与隔离结构的正面平齐或具有一间距，检测电极能够导电且用于与处理器连接，检测电极能够根据分布于晶圆表面的导电液体产生检测信号，处理器通过分析检测信号得到晶圆表面液膜的分布情况。本发明利用液体导电原理，若检测电极与分布于晶圆表面的导电液体接触则会产生检测信号，若检测电极没有与导电液体接触则不会产生检测信号，处理器通过分析检测信号得到晶圆表面液膜是否存在断流情况。本发明的微电极导电系统结构简单，利用半导体工艺容易制备，成本低。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目170次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息708条，此外企业还拥有行政许可55个。

本文源自：金融界

作者：情报员