金融界2025年6月18日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“设备前端模块和用于控制设备前端模块中湿度的方法”的专利，公开号CN120161877A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种设备前端模块和用于控制设备前端模块中湿度的方法。根据本发明的一个方面的设备前端模块包括：装载端口；传送框架；缓冲单元；风扇过滤器单元；气体供应单元；压差传感器，该压差传感器安装在传送框架的一部分上并且配置为测量压差，该压差是通过从传送框架的内部压力减去外部压力而获得的值；湿度传感器，该湿度传感器安装在传送框架的一部分上，并且配置为测量传送框架内部的湿度；以及控制单元，该控制单元配置为基于从湿度传感器和压差传感器接收的信息来控制风扇过滤器单元的旋转速度和通过气体供应单元供应到传送框架中的气体的流量。

本文源自：金融界

作者：情报员