金融界2025年6月20日消息,国家知识产权局信息显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种多焦点聚焦离子源系统、加工设备及其加工方法”的专利,公开号CN120183988A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明提供了一种多焦点聚焦离子源系统、加工设备及其加工方法,该多焦点聚焦离子源系统包括离子源组件,离子源组件包括放电腔室,放电腔室包括侧壁以及在第一方向上相对设置的底部区域和开口区域,放电腔室内部用于产生等离子体;固定在开口区域一侧的栅网组件,栅网组件具有N个子栅网,每个子栅网上具有一个弧面栅孔区域,N≥2,且N为正整数,弧面栅孔区域向底部区域一侧突出,等离子体经过N个弧面栅孔区域被聚焦形成N束聚焦离子束。也就是说该多焦点聚焦离子源系统中的栅网组件上具有N个弧面栅孔区域,每个弧面栅孔区域都可以出射一束聚焦离子束,显然可以同时引出多束聚焦离子束同时轰击在待处理工件的表面,实现加工效率的提升。
天眼查资料显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司,成立于2015年,位于徐州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目232次,财产线索方面有商标信息31条,专利信息449条,此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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