金融界2025年6月21日消息，国家知识产权局信息显示，广东先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种衬底片清洗干燥装置”的专利，授权公告号CN222999231U，申请日期为2024年06月。

专利摘要显示，本申请公开了一种衬底片清洗干燥装置，涉及半导体衬底材料制造技术领域，包括移动板、驱动器、喷淋组件以及干燥组件；移动板上设有固定组件；驱动器与移动板连接；喷淋组件设置在清洗工位上；干燥组件设置在干燥工位上。通过驱动器来带动移动板运动，进而使得移动板上的固定组件所固定的衬底片能够在清洗工位与干燥工位之间运动，衬底片在清洗工位处完成清洗作业后，能够快速到达干燥工位进行干燥，极大提升清洗干燥效率。而且，清洗组件与干燥组件为对衬底片的第一面与第二面进行同步作业，无需换面操作，进一步提升清洗与干燥的作业效率。

天眼查资料显示，广东先导微电子科技有限公司，成立于2020年，位于清远市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本54384万人民币。通过天眼查大数据分析，广东先导微电子科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息510条，此外企业还拥有行政许可183个。

本文源自：金融界

作者：情报员