金融界2025年6月23日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种聚焦环控温系统及静电卡盘机构”的专利，公开号CN120183992A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种聚焦环控温系统及静电卡盘机构，包括聚焦环组件和冷却装置，其中，聚焦环组件具有冷却腔，冷却腔具有进液通道和出液通道；冷却装置至少包括与进液通道连通的第一输出管路和与出液通道连通的第一回液管路，以使冷却装置的冷却液能够循环流入冷却腔内来调节聚焦环组件的温度。通过将该聚焦环控温系统安装于静电卡盘周围，由于聚焦环组件具有冷却腔，并且与冷却装置循环连通，从而能够通过冷却装置调节聚焦环组件的温度，使得聚焦环组件的温度与静电卡盘上放置的晶圆的边缘位置的温度能够更好地适配，从而避免了晶圆与聚焦环主体之间存在温度差而影响工艺效果的问题。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目232次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息450条，此外企业还拥有行政许可14个。

本文源自：金融界

作者：情报员