金融界2025年6月23日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“晶圆刻蚀装置”的专利，公开号CN120184058A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本申请提供了一种晶圆刻蚀装置，包括刻蚀腔、旋转机构、夹持机构，其中，刻蚀腔内盛放有刻蚀药液，旋转机构能够相对所述刻蚀腔转动，夹持机构连接于所述旋转机构，用于将晶圆固定在所述旋转机构上，所述旋转机构沿预设转动方向相对所述刻蚀腔转动，以使所述晶圆绕所述旋转机构的转动轴线在竖直平面内沿预设的圆周转动路径旋转着进入以及离开所述刻蚀药液，从而使晶圆最先进入刻蚀药液内的一侧最先离开刻蚀药液，以保证对晶圆上最先进入刻蚀药液和最后进入刻蚀药液的部位在刻蚀药液内刻蚀的时间相同，进而保证对晶圆刻蚀的均匀性。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目171次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息711条，此外企业还拥有行政许可55个。

本文源自：金融界

作者：情报员