金融界2025年6月24日消息,国家知识产权局信息显示,北京易感芯科技有限公司申请一项名为“磨抛样片载具及磨抛设备”的专利,公开号CN120190758A,申请日期为2025年04月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体加工技术领域,尤其涉及一种磨抛样片载具及磨抛设备,包括载具托盘和粘接材料层,载具托盘适于与磨抛设备的磨头进行可拆卸连接,粘接材料层设置于载具托盘的背向磨头的端面上,粘接材料层采用热解粘接材料或光解粘接材料。在磨抛工艺过程中,首先把磨抛样片粘到载具托盘上的粘接材料层,然后把载具托盘装到磨抛设备的磨头上,经过磨抛工艺以后,将载具托盘从磨头上取下,不影响磨抛样片,由于粘接材料层具有热解或者光解的特性,经过热解或者光解,磨抛样片可以与载具托盘自动脱离,有效降低磨抛工艺后取样片的翘曲或破裂风险,而且不增加额外的清洗工艺。
天眼查资料显示,北京易感芯科技有限公司,成立于2022年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本122.7273万人民币。通过天眼查大数据分析,北京易感芯科技有限公司专利信息4条,此外企业还拥有行政许可1个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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