近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，股票代码：688012）宣布其刻蚀设备系列喜迎又一里程碑：Primo Menova™12寸金属刻蚀设备全球首台机顺利付运国内一家重要集成电路研发设计及制造服务商。此项里程碑既标志着中微公司在等离子体刻蚀领域的又一自主创新，也彰显了公司持续研发的技术能力与稳步发展的综合实力。

中微公司的 12 英寸 ICP 单腔刻蚀设备 Primo Menova™专注于金属 Al 线、Al 块刻蚀，基于 Primo Nanova® 研发，具备刻蚀均一性好、速率高、选择比高、底层介质损伤低等特点，搭配高效率腔体清洁工艺和高温水蒸气除胶腔室，可灵活满足客户需求。中微公司的等离子体刻蚀设备已应用于国际一线客户多种先进制程生产线，覆盖国内 95% 以上刻蚀应用需求，截至 2024 年底累计超 6000 台反应台在 137 条生产线量产。2024 年公司研发投入 24.5 亿元，同比增 94.3%，占营收约 27%，在研项目超二十款新设备，研发速度加快，践行 “五个十大” 文化，坚持技术创新，为客户提供有竞争力的产品和解决方案。

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破局断供：泛联新安推出国产EDA验证工具免费试用计划

6月20日，泛联新安宣布开放自主可控全系EDA工具链免费试用，涵盖多FPGA原型验证系统等5款工具，旨在攻克关键领域“卡脖子”难题，保障芯片供应链安全。如需试用，可联系汤女士（0731-85860107，tangchaoqun@valiantsec.com）。