金融界2025年6月24日消息,国家知识产权局信息显示,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请一项名为“离子注入机中晶圆位置识别方法和装置”的专利,公开号CN120199697A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本申请公开了一种离子注入机中晶圆位置识别方法,其包括步骤基于静电吸盘的中心点定义判断区域;获取包括所述静电吸盘以及其上的所述晶圆的第二图像;计算所述判断区域内所述第二图像的至少一个特征数据自所述判断区域的第一边界的第一径向尺寸向第二边界的第二径向尺寸的变化是否超过预设值;根据所述判断结果识别所述晶圆的位置是否准确。本申请的方法通过获取晶圆表面图像并对晶圆表面图像进行分析,判断晶圆在静电吸盘上是否出现明显偏移,从而提高生产效率、降低生产成本。本申请还公开了对应的装置。
天眼查资料显示,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司,成立于2017年,位于北京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司参与招投标项目22次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息329条,此外企业还拥有行政许可123个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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