金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“一种半导体工艺装置及半导体设备”的专利，授权公告号CN223023209U，申请日期为2024年08月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种半导体工艺装置及半导体设备，装置包括运动控制结构、位置传感器、清洁头和刮板；位置传感器与清洁头固定连接；位置传感器与清洁头、位置传感器电连接以控制清洁头的位置移动；清洁头表面有硬度大于狭缝结构内壁毛刺的清洁刷毛；刮板与清洁头固定。本实用新型通过硬度大于狭缝内壁毛刺的清洁刷毛刷断毛刺，配合刮板将刷断的毛刺刮出狭缝，在不拆除狭缝结构的前提下清理狭缝内壁的毛刺，保证狭缝出射粒子束均一性，并降低清洁毛刺的时间和复杂度，提高生产效率；同时配合运动控制结构方便清洁头出入狭缝；另外限位板限定清洁头进入狭缝深度，提高清洁效率；最后设置清洁刷毛硬度小于狭缝结构内壁，避免损伤狭缝结构内壁。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目171次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息711条，此外企业还拥有行政许可55个。

本文源自：金融界

作者：情报员