金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，天通瑞宏科技有限公司申请一项名为“一种滤波器件制备方法及滤波器件”的专利，公开号CN120200574A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明实施例提出一种滤波器件制备方法及滤波器件，涉及半导体技术领域，该滤波器件制备方法包括：制备一复合晶圆；获取并判断复合晶圆表面衬底层的厚度分布是否符合预设标准；当不符合预设标准时，则依据厚度分布，于复合晶圆表面制备一滤波器件金属电极叉指，其中，通过滤波器件金属电极叉指的宽度补偿对应位置处的由复合晶圆表层压电层的厚度分布所导致的波动缺陷，使滤波器件各个区域的频率保持一致。基于此，本发明通过量化膜厚面型分布与频率偏差的关联性，实现光刻曝光的动态补偿，以分区精准调控光刻曝光量，弥补传统曝光补偿方法缺乏的对膜厚空间分布的适配能力，提高键合晶圆膜厚面型分布的一致性。

天眼查资料显示，天通瑞宏科技有限公司，成立于2017年，位于嘉兴市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本28620万人民币。通过天眼查大数据分析，天通瑞宏科技有限公司参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息161条，此外企业还拥有行政许可12个。

本文源自：金融界

作者：情报员