爱思开海力士申请半导体器件及其制造方法专利,涉及半导体器件及其制造方法
金融界
·北京
·金融界网站官方账号 优质财经领域创作者
金融界2025年6月28日消息,国家知识产权局信息显示,爱思开海力士有限公司申请一项名为“半导体器件及其制造方法”的专利,公开号CN120224686A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本公开涉及半导体器件及其制造方法。一种半导体器件包括:在衬底中的多个有源区;栅极沟槽,形成在多个有源区中的至少一个中,栅极沟槽包括第一侧壁、与第一侧壁相对的第二侧壁以及底部侧壁;生长促进区,形成在栅极沟槽的第一侧壁上;第一栅极介电层,形成在栅极沟槽的第一侧壁上以与生长促进区接触;第二栅极介电层,形成在栅极沟槽的第二侧壁上以比第一栅极介电层薄;以及栅电极,在第一栅极介电层和第二栅极介电层之上部分地填充栅极沟槽。
本文源自金融界
热门跟贴