金融界2025年7月1日消息,国家知识产权局信息显示,深圳晶源信息技术有限公司申请一项名为“光刻仿真模型构建方法及相关设备”的专利,公开号CN120233646A,申请日期为2025年04月。
专利摘要显示,本发明提供了一种光刻仿真模型构建方法及相关设备,构建方法包括:获取设计图,并将设计图拆分成至少两个掩模图,至少两个掩模图于连接区域重叠;分别为每个掩模图构建对应的光学模型,光学模型用于描述对应的掩模图在光刻工艺中光场分布;根据至少两个掩模图的连接关系,合并对应的光学模型,以得到光学合成模型;基于光学合成模型构建光刻胶模型,光刻胶模型用于描述光刻胶图的形成过程。
天眼查资料显示,深圳晶源信息技术有限公司,成立于2016年,位于深圳市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳晶源信息技术有限公司参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息136条,此外企业还拥有行政许可8个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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