金融界2025年7月1日消息,国家知识产权局信息显示,细美事有限公司申请一项名为“喷头组件以及包括其的基板处理装置”的专利,公开号CN120231021A,申请日期为2024年09月。

专利摘要显示,本发明涉及一种喷头组件以及包括其的基板处理装置,根据本发明的一实施例的喷头组件可以包括:上板,包括气体流入孔;气体分配板,配置于所述上板的下方;以及喷淋板,配置于所述气体分配板的下方,并形成有气体喷射孔,所述气体分配板包括与所述气体流入孔连通的气体分配通道。

本文源自:金融界

作者:情报员