金融界2025年7月2日消息,国家知识产权局信息显示,浙江中科尚弘离子装备工程有限公司申请一项名为“一种离子注入机中的解锁顶升组件”的专利,公开号CN120236987A,申请日期为2025年06月。

专利摘要显示,本发明公开了一种离子注入机中的解锁顶升组件,包括底板,设置在的驱动电机与滚珠丝杠传动连接,滚珠丝杠上的滑块连接有活动板,在活动板的两侧分别固定设置有一导向传动杆,解锁板的一端套设在导向传动杆上,并通过弹簧与活动板弹性连接,解锁板的另一端延伸至晶圆加工工位;导向传动杆分别位于解锁板的两侧,导向传动杆的端部与第一连杆的一端连接,第一连杆的另一端向下倾斜,且与通过第一转动件与第二连杆的一端活动连接,在第二连杆的另一端设有第二转动件,在第一转动件和第二转动件的内侧端分别设有一顶升块,顶升块可在导向传动杆的推动下转动顶起晶圆。本发明通过设置一驱动电机便可同时实现对靶盘组件的解锁和举升动作。

天眼查资料显示,浙江中科尚弘离子装备工程有限公司,成立于2020年,位于嘉兴市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本6156万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江中科尚弘离子装备工程有限公司参与招投标项目4次,专利信息43条,此外企业还拥有行政许可1个。

本文源自:金融界

作者:情报员