细美事申请基板加工装置、摄影单元和液体加工腔室专利,提供与加工空间分隔开的内部空间
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金融界2025年7月2日消息,国家知识产权局信息显示,细美事有限公司申请一项名为“基板加工装置、摄影单元和液体加工腔室”的专利,公开号CN120237050A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种基板加工装置、摄影单元和液体加工腔室。具体地,用于加工基板的装置包括:壳体,该壳体提供加工空间;支承单元,该支承单元配置为在加工空间中支承基板;以及摄影单元,该摄影单元配置为拍摄加工空间,其中,该摄影单元包括:容器,该容器安装在壳体的一个上侧上并且提供与加工空间分隔开的内部空间;以及视觉件,该视觉件设置在容器的内部空间中并且沿向下倾斜的方向拍摄加工空间。
本文源自:金融界
作者:情报员
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