金融界2025年7月2日消息,国家知识产权局信息显示,细美事有限公司申请一项名为“衬底处理设备”的专利,公开号CN120237054A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本发明涉及一种衬底处理设备,更具体地,涉及一种能够分别排放衬底处理期间产生的气体的衬底处理设备。本发明的目的在于提供一种能够同时分别排放气体与处理液体,并且能够在多个排气槽内提供均匀的压力的衬底处理设备。

本文源自:金融界

作者:情报员