金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，青岛惠科微电子有限公司、青岛惠芯微电子有限公司、北海惠科半导体科技有限公司申请一项名为“扩散炉、扩散系统以及扩散方法”的专利，公开号CN120231133A，申请日期为2025年02月。

专利摘要显示，本申请涉及一种扩散炉、扩散系统以及扩散方法，涉及半导体制造领域。本申请包括：石英外管，设置有与石英外管内连通的炉口及进气口，炉口设置在石英外管轴向方向的一端；石英内管，设置有与石英内管内连通的置料口及出气口，还设置有炉门，置料口设置在石英内管轴向方向的一端，炉门靠近石英内管轴向方向的另一端设置或设置在石英内管轴向方向的另一端，石英内管内设置有置料区，以用于放置晶圆；本申请通过石英内管与石英外管的配合方式，可创造出封闭且洁净的氧化空间，进而可实现栅氧化膜层的制备，同时通过石英内管减少金属与可动离子沾污源的引入，进而可提高栅氧化膜层的质量。

天眼查资料显示，青岛惠科微电子有限公司，成立于2019年，位于青岛市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本120000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛惠科微电子有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目15次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息43条，此外企业还拥有行政许可16个。

青岛惠芯微电子有限公司，成立于2019年，位于青岛市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛惠芯微电子有限公司专利信息38条，此外企业还拥有行政许可3个。

北海惠科半导体科技有限公司，成立于2021年，位于北海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，北海惠科半导体科技有限公司专利信息176条，此外企业还拥有行政许可1个。

本文源自：金融界

作者：情报员