金融界2025年7月7日消息，国家知识产权局信息显示，江苏神州半导体科技有限公司申请一项名为“一种远程等离子源负载阻抗扰动保护控制方法及装置”的专利，公开号CN120255627A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本发明属于远程等离子源技术领域，提供了一种远程等离子源负载阻抗扰动保护控制方法及装置。所述方法包括：采集反应腔室的气体流量、气体压力和反应腔室温度；根据负载阻抗预测模型，获得负载阻抗预测值；根据负载阻抗预测值F是否处于波动稳定区间，控制系统工作于恒功率阶段或恒流阶段。本发明能够在不同的气体流量、压力及腔体温度下利用负载阻抗预测模型预测出负载阻抗值F，根据负载阻抗值确定工作状态是否稳定，控制系统工作于恒功率阶段或恒流阶段。实现气体负载波动与等离子体动态实时协同调控，有效抑制气体切换时的混合扰动，解决等离子体失稳问题；避免气体负载波动导致电流过大而损坏功率器件，提升远程等离子源的使用寿命。

天眼查资料显示，江苏神州半导体科技有限公司，成立于2016年，位于扬州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2345.679万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏神州半导体科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目29次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息118条，此外企业还拥有行政许可23个。

本文源自：金融界

作者：情报员