金融界2025年7月7日消息,国家知识产权局信息显示,源纳微光学科技(苏州)有限公司申请一项名为“双远心投影光刻镜头”的专利,公开号CN120255127A,申请日期为2025年02月。
专利摘要显示,本发明涉及一种双远心投影光刻镜头,用于紫外窄波段,包括从物方至像方依次设置的前透镜组、光阑和后透镜组,所述前透镜组包括从物方至像方依次设置的四个透镜,所述后透镜组包括从物方至像方依次设置的五个透镜,本发明的双远心投影光刻镜头能够在370nm~380nm或400nm~410nm两个紫外窄波段范围内,保证镜头的全波段高透过率和双远心特征,达到投影光刻镜头的高分辨率、高功率、小型化和优良的温漂性能,可以实现2μm线宽的油墨的曝光解析。并且,本发明的投影光刻镜头的公差分配更加合理,加工装配难度大大降低,量产难度也大大降低,从而提高镜头的生产效率。
天眼查资料显示,源纳微光学科技(苏州)有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,源纳微光学科技(苏州)有限公司参与招投标项目4次,专利信息18条,此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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