金融界2025年7月8日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司取得一项名为“一种阻抗调节装置及等离子体处理设备”的专利，授权公告号CN223079069U，申请日期为2024年07月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种阻抗调节装置及等离子体处理设备，阻抗调节装置设置在一真空的反应腔内，反应腔内包含用于放置晶圆的基座，包括：边缘电极环，围绕基座并与基座电绝缘，边缘电极环的底部设有第一导电部；边缘电极环馈电组件，电性连接在边缘电极环与偏置射频电源之间，边缘电极环馈电组件的顶部包括与第一导电部位置对应的第二导电部；若干个导电的弹性装置，所述弹性装置弹性电连接设置在所述第一导电部与所述第二导电部之间，用于实现边缘电极环与边缘电极环馈电组件之间稳定的电接触。

天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62236.3735万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目66次，财产线索方面有商标信息76条，专利信息1493条，此外企业还拥有行政许可76个。

本文源自：金融界

作者：情报员