金融界2025年7月8日消息，国家知识产权局信息显示，上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“等离子设备的排气调节装置及等离子设备”的专利，公开号CN120261250A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本公开的一种等离子设备的排气调节装置及等离子设备，涉及等离子设备领域，等离子设备包括反应腔、位于反应腔内且供承载晶圆的承载部、位于承载部一侧的排气口及套在承载部外部且沿周向均布多个排气孔的排气件。排气调节装置包括第一挡气件和第二挡气件。第一挡气件供回挡气体地设在排气件的出气侧，且与排气口位于承载部异侧。第二挡气件供回挡气体地设在排气件的出气侧，且与排气口位于承载部同侧。且第二挡气件形成的对排出气流的第二挡气面积大于第一挡气件对排出气流的第一挡气面积，以均衡同侧与异侧的气流速度。本公开有助于减小排气口异侧区域内与同侧区域内排气的气流速度差，均衡排气口异侧空间内和排气口同侧空间内的气流速度。

天眼查资料显示，上海邦芯半导体科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析，上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目14次，财产线索方面有商标信息17条，专利信息123条，此外企业还拥有行政许可2个。

本文源自：金融界

作者：情报员