金融界2025年7月8日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“带电粒子评估方法和系统”的专利，公开号CN120283291A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，一种用于通过在样品上扫描带电粒子束来标识样品中的候选缺陷的带电粒子评估方法；该方法包括：使用带电粒子评估装置从样品的第一区域获取第一参考图像并且从样品的第二区域获取第二参考图像；使用带电粒子评估装置从样品的第三区域获取样品图像；以及将样品图像与第一参考图像和第二参考图像进行比较，以标识第三区域中的任何候选缺陷；其中第一参考图像和/或第二参考图像以比样品图像高的保真度来获取。

本文源自：金融界

作者：情报员