金融界2025年7月9日消息,国家知识产权局信息显示,浙江晶盛光子科技有限公司申请一项名为“一种反应腔室和镀膜工艺方法”的专利,公开号CN120272882A,申请日期为2025年06月。

专利摘要显示,本发明提供了一种反应腔室,属于镀膜设备技术领域,用于容置电池硅片,通过输入工艺气体对电池硅片进行ALD镀膜,所述反应腔室包括:外腔体,所述外腔体构建有一可容置工艺气体的反应腔,且所述工艺气体在反应腔内形成一个反应区,以对所述反应区内的电池硅片进行镀膜;加热件,所述加热件设置在反应腔中,用于加热所述反应区内的电池硅片;以及气帘单元,所述气帘单元通过在所述反应腔中进出气体使得气帘单元在所述反应腔中形成气帘,其中,所述气帘设置在所述反应区的外侧,通过所述气帘限制所述反应区在所述反应腔中的范围;达到提高反应腔室对电池硅片的加热效率。

天眼查资料显示,浙江晶盛光子科技有限公司,成立于2023年,位于杭州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江晶盛光子科技有限公司参与招投标项目1次,专利信息95条。

本文源自:金融界

作者:情报员