金融界2025年7月9日消息，国家知识产权局信息显示，苏州衡巍光电科技有限公司申请一项名为“一种砷化硼薄膜晶体的生产工艺”的专利，公开号CN120273026A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明公开一种砷化硼薄膜晶体的生产工艺，属于化合物半导体材料合成技术领域。该工艺包括以下步骤：步骤一、将硅衬底放置于沉积室中，启动分子泵对沉积室抽真空；步骤二、以氩气为载气，托载硼烷进入沉积室中；然后以氩气为载气，托载砷烷进入沉积室中；步骤三、先对沉积室进行加热，加热完成后保温，随后通电持续释放高压电弧，在高压电弧的轰击下形成离子态的砷和硼，并在硅衬底上生长立方砷化硼薄膜晶片；步骤四、反应完成后，降至室温，取出产物，得到硅上外延立方砷化硼薄膜晶片成品。本发明采用等离子体技术，利用氩气运载砷烷、硼烷，在硅衬底上生长立方砷化硼薄膜晶片，具有反应温度更低，反应效率更高，安全性好等优势。

天眼查资料显示，苏州衡巍光电科技有限公司，成立于2025年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州衡巍光电科技有限公司专利信息2条。

本文源自：金融界

作者：情报员