金融界2025年7月10日消息,国家知识产权局信息显示,江苏芯势科技有限公司申请一项名为“一种带定位装置的晶圆量测驱动机构”的专利,公开号CN120280380A,申请日期为2025年05月。
专利摘要显示,本发明涉及一种带定位装置的晶圆量测驱动机构,定位装置安装在晶圆量测驱动机构的定位工位处,包括中心定位模块、旋转相位定位模块和编码识别模块,中心定位模块包括两个卡臂和卡臂驱动组件,位于两个卡臂上的卡爪分别抵接在晶圆的边缘上,卡爪与晶圆边缘抵接的晶圆抵接部始终位于圆心位置固定的相同半径的圆周上,上述圆心位置位于定位工位状态下晶圆量测驱动机构的转台模块的旋转轴上,提高了晶圆中心定位精度。布置在中心定位模块上方的旋转相位定位模块和编码识别模块在同一径向驱动设备的驱动下移动到合适的半径位置,分别对位于晶圆边缘的定向刻痕和编码进行检测、识别,减少了晶圆需在不同工位之间转运的次数,简化了量测工艺,节省了量测时间。
天眼查资料显示,江苏芯势科技有限公司,成立于2023年,位于无锡市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1256.410225万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏芯势科技有限公司参与招投标项目1次,专利信息5条,此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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