金融界2025年7月11日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“厚度补偿的电涡流检测方法、装置设备和存储介质”的专利，公开号CN120287196A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本申请提供了一种厚度补偿的电涡流检测方法、装置设备和存储介质，该应用于化学机械抛光设备，该方法包括：在晶圆运行至电涡流传感器的检测区域时，获取电涡流传感器的第一感应信号，其中，电涡流传感器设置于化学机械抛光设备包括的抛光盘内，抛光盘的顶面设置有用于对晶圆上金属层进行抛光的抛光垫；在化学机械抛光设备包括的修整头扫过检测区域时，获取电涡流传感器的第二感应信号；根据第二感应信号确定抛光垫上与电涡流传感器相对区域的第一厚度值；根据第一感应信号、第一厚度值，确定晶圆上的金属层的厚度。

天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目227次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息676条，此外企业还拥有行政许可30个。

本文源自：金融界

作者：情报员