金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于向反应室提供气体混合物的设备及其使用方法”的专利，公开号CN120291056A，申请日期为2025年01月。

专利摘要显示，公开了用于在进入反应室之前混合两种或更多种气体的设备、包括该设备的反应器系统以及使用该设备和系统的方法。如本文所述的系统和方法可用于例如将两种或更多种前体的混合物脉冲到反应室。

本文源自：金融界

作者：情报员