金融界2025年7月12日消息,国家知识产权局信息显示,上海原力芯辰科技有限公司取得一项名为“一种镀膜装置”的专利,授权公告号CN223087890U,申请日期为2024年08月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种镀膜装置,涉及光伏及半导体技术领域。镀膜装置包括蒸镀腔、ALD腔、载料台以及第一输送件。其中,蒸镀腔内设置有蒸发件,蒸发件用于对基底进行蒸镀工艺;ALD腔内设置有喷淋件,ALD腔与蒸镀腔连接,喷淋件用于对基底进行ALD工艺;第一输送件设置于蒸镀腔及ALD腔,用于移动载料台。载料台用于承载基底,载料台呈竖直,以使基底呈竖直设置;或载料台呈倾斜设置,以使基底朝向蒸发件或喷淋件倾斜设置;以使承载于载料台上的基底也呈竖直或倾斜设置,从而使得蒸发件及喷淋件以水平或倾斜向上对基底进行膜层沉积,既能够减小玻璃基底的变形量,又可保证基底整体成膜的均匀性,从而提高了镀膜的生产效率和质量。
天眼查资料显示,上海原力芯辰科技有限公司,成立于2024年,位于上海市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海原力芯辰科技有限公司参与招投标项目2次,专利信息22条,此外企业还拥有行政许可1个。
本文源自:金融界
作者:情报员
热门跟贴