金融界2025年7月12日消息,国家知识产权局信息显示,英飞凌科技股份有限公司申请一项名为“微机电系统装置”的专利,公开号CN120295176A,申请日期为2025年01月。
专利摘要显示,本公开涉及微机电系统装置。一种MEMS装置(10)包括换能器元件(12),具有处于竖直间隔构造中的第一可偏转膜结构(14)、刚性电极结构(16)和第二可偏转膜结构(18),其中刚性电极结构(16)被布置在第一可偏转膜结构与第二可偏转膜结构之间,其中第一可偏转膜结构和第二可偏转膜结构各自包括可偏转部分(14‑1、18‑1),并且其中第一可偏转膜结构的可偏转部分和第二可偏转膜结构的可偏转部分通过机械连接元件(20)彼此机械耦合并且与刚性电极结构机械解耦;以及用于支持换能器元件的载体元件;以及多个夹持结构(24‑1……24‑#),用于沿换能器元件的间隔开的周边区域(26‑1……26‑#)将换能器元件机械连接到载体元件。
本文源自:金融界
作者:情报员
热门跟贴