金融界2025年7月14日消息,国家知识产权局信息显示,左蓝微(江苏)电子技术有限公司申请一项名为“用于温度补偿声表面波滤波器的半导体结构的制备工艺”的专利,公开号CN120301381A,申请日期为2025年04月。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于温度补偿声表面波滤波器的半导体结构的制备工艺,包括:准备晶圆;利用光刻工艺在所述晶圆上形成IDT光刻胶图层;以所述IDT光刻胶图层为掩膜,按照设计厚度要求在晶圆上一体成型IDT膜层和piston膜层;利用光刻工艺在成型IDT膜层和piston膜层后的晶圆上形成piston光刻胶图层;测量所述IDT膜层和piston膜层的厚度,根据厚度分布并以所述piston光刻胶图层为掩膜对所述piston膜层进行离子束修整,以在所述IDT膜层上形成质量负载;将完成上述工序的晶圆进行剥离以去除光刻胶图层 。
天眼查资料显示,左蓝微(江苏)电子技术有限公司,成立于2016年,位于常州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1486.0755万人民币。通过天眼查大数据分析,左蓝微(江苏)电子技术有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息23条,专利信息126条,此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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