金融界2025年7月14日消息,国家知识产权局信息显示,上海原力芯辰科技有限公司取得一项名为“一种ALD镀膜装置及ALD镀膜设备”的专利,授权公告号CN223087912U,申请日期为2024年08月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种ALD镀膜装置及ALD镀膜设备,涉及镀膜技术领域。该ALD镀膜装置包括沉积室、喷淋模块及加热模块,喷淋模块与加热模块均容置于沉积室内,喷淋模块与加热模块之间具有沉积通道;喷淋模块包括氧源喷淋件、第一金属源喷淋件、隔离气喷淋件、抽气件及第二金属源喷淋件,多个氧源喷淋件与多个第一金属源喷淋件沿沉积通道依次间隔排布,任意相邻的氧源喷淋件与第一金属源喷淋件之间布置有隔离气喷淋件与抽气件,第一金属源喷淋件与第二金属源喷淋件用于向沉积通道喷淋不同的金属源气体。

天眼查资料显示,上海原力芯辰科技有限公司,成立于2024年,位于上海市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海原力芯辰科技有限公司参与招投标项目2次,专利信息22条,此外企业还拥有行政许可1个。

本文源自:金融界

作者:情报员