金融界2025年7月18日消息,国家知识产权局信息显示,ASML荷兰有限公司申请一项名为“掩模版搬运装置隔离阻尼器元件”的专利,公开号CN120344920A,申请日期为2023年11月。

专利摘要显示,一种系统包括光刻系统的第一和第二部分、以及位于第一部分与第二部分之间的阻尼系统。所述阻尼系统包括阻尼器保持器,所述阻尼器保持器保持X方向阻尼器组和Y方向阻尼器组

本文源自:金融界

作者:情报员