金融界2025年7月21日消息，国家知识产权局信息显示，昂图创新有限公司申请一项名为“用于集成电路衬底的检查方法和系统”的专利，公开号CN120345063A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，一种用于使用一个或多个传感器从衬底捕获信息的检查系统。在一些实例中，可同时在两个侧上同时检查衬底。在其他实施方案中，可对重叠、特征、厚度、电阻和其他参数执行各种测量。这些测量可用各种传感器进行，诸如相机、激光、红外成像和/或x射线传感器。通过仔细地处理该衬底，该检查系统可在当前由于常规检查机械的缺点而未被检查的工艺阶段期间检查该衬底时避免对该衬底造成损坏或污染。

本文源自：金融界

作者：情报员