金融界2025年7月22日消息,国家知识产权局信息显示,苏州德龙激光股份有限公司取得一项名为“连杆式晶圆寻边定位机构”的专利,授权公告号CN223140726U,申请日期为2024年08月。

专利摘要显示,本实用新型涉及一种连杆式晶圆寻边定位机构,包括轨迹基板以及安装在轨迹基板上中部的晶圆吸盘;在传动基板和轨迹基板之间安装有定心转盘,在传动基板的底部一侧安装有第二伺服电机,第二伺服电机顶部的驱动端与位于传动基板上方的主动齿轮相连接,主动齿轮与安装在定心转盘底部的从动齿轮啮合;在定心转盘上沿着圆周方向均布有若干个连杆组件。本实用新型可同时兼容六寸及八寸晶圆作业。本实用新型使用连杆式的夹爪通过单轴由晶圆外形精度拟合晶圆圆心将晶圆定位,不再使用晶圆校准器的X\Y\θ三个运动轴联动完成此动作。

天眼查资料显示,苏州德龙激光股份有限公司,成立于2005年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本10336万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州德龙激光股份有限公司共对外投资了11家企业,参与招投标项目289次,财产线索方面有商标信息16条,专利信息579条,此外企业还拥有行政许可5个。

本文源自:金融界

作者:情报员