金融界2025年7月23日消息，国家知识产权局信息显示，上海芯上微装科技股份有限公司申请一项名为“掩膜传输系统、传输方法及光刻设备”的专利，公开号CN120353102A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本发明提供一种掩膜传输系统、传输方法及光刻设备，掩膜传输系统包括外版库单元、内版库单元、缓存台单元、取放版手单元和交换版手单元；外版库单元被配置为接收掩膜版，将掩膜版传输至第一交接工位；内版库单元被配置为存储掩膜版；缓存台单元被配置为暂存掩膜版；取放版手单元被配置为在第一交接工位、内版库单元和缓存台单元之间取放与传输掩膜版；交换版手单元包括：掩膜版抓放定位机构、交换版手R轴运动单元、交换版手Z轴运动单元、交换版手X轴运动单元、交换版手Y轴运动单元；交换版手单元被配置为在缓存台单元以及掩膜台之间取放与传输掩膜版。本发明的掩膜传输系统可解决现有技术中针对大视场高NA物镜曝光机的掩膜版传输问题。

天眼查资料显示，上海芯上微装科技股份有限公司，成立于2025年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5843.8446万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯上微装科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目5次，专利信息6条，此外企业还拥有行政许可19个。

本文源自：金融界

作者：情报员