金融界2025年7月25日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“包括共享RF发生器的衬底处理设备”的专利,公开号CN120376451A,申请日期为2025年01月。
专利摘要显示,公开了一种衬底处理设备。示例性衬底处理设备可包括多个退火室;共享RF发生器,其配置为向退火室产生等离子体;其中共享RF发生器经由RF分频器电联接到退火室;其中RF分频器设置有多个RF电缆,RF电缆中的每个分别电联接到退火室中的每个。
本文源自:金融界
作者:情报员
金融界2025年7月25日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“包括共享RF发生器的衬底处理设备”的专利,公开号CN120376451A,申请日期为2025年01月。
专利摘要显示,公开了一种衬底处理设备。示例性衬底处理设备可包括多个退火室;共享RF发生器,其配置为向退火室产生等离子体;其中共享RF发生器经由RF分频器电联接到退火室;其中RF分频器设置有多个RF电缆,RF电缆中的每个分别电联接到退火室中的每个。
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