金融界2025年7月30日消息,国家知识产权局信息显示,河南仕佳光子科技股份有限公司申请一项名为“一种在脊波导顶部制作金属电极的方法”的专利,公开号CN120389284A,申请日期为2025年04月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体光电子器件技术领域,特别是指一种在脊波导顶部制作金属电极的方法,包括以下步骤:S1,在衬底表面制作金属电极和过渡层;S2,在衬底表面生长下掩膜层;S3,在下掩膜层上涂覆光刻胶形成上掩膜层;S4,对上掩膜层进行光刻形成第一波导图形;S5,在下掩膜层上形成第二波导图形;S6,刻蚀第二波导图形中显露的过渡层和金属电极;S7,用下掩膜层做掩膜在衬底上制作脊波导;S8,用BOE溶液去除下掩膜层;S9,去除过渡层;脊波导顶部制作金属电极工艺完成。

天眼查资料显示,河南仕佳光子科技股份有限公司,成立于2010年,位于鹤壁市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本45880.2328万人民币。通过天眼查大数据分析,河南仕佳光子科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目65次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息130条,此外企业还拥有行政许可40个。

本文源自:金融界

作者:情报员