金融界2025年8月2日消息,国家知识产权局信息显示,迈康尼股份公司申请一项名为“激光写入器及操作激光写入器的方法”的专利,公开号CN120418731A,申请日期为2024年01月。
专利摘要显示,一种辐照装置(2),包括声光调制器(20)、多激光束源(10)、第一光束透镜(52)的第一透镜阵列(50)和写入头(40)。多激光束源提供聚焦到声光调制器中的平行激光束。第一光束透镜的焦点与声光调制器的相应调制器通道位置(25)重合,或与声光调制器成像的图像平面的相应调制器通道位置重合。该写入头包括声光偏转器(60)、准直透镜布置(62)和第二光束透镜(72)的第二透镜阵列(70)。第二光束透镜的焦点位于准直器物面(64)上。写入头可沿着光传播路径(X)相对于声光调制器移动。本发明公开了一种扫描光刻激光写入器和一种用于操作扫描光刻激光写入器的方法。
本文源自:金融界
作者:情报员
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