金融界2025年8月4日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“用于等离子体反应腔室的电加热器、等离子体反应腔室”的专利，公开号CN120417139A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本申请提供了用于等离子体反应腔室的电加热器、等离子体反应腔室。该用于等离子体反应腔室的电加热器，其包括电热丝、薄膜层和压覆部。电热丝嵌入于薄膜层中，薄膜层用于放置于等离子体反应腔室的介质窗的顶面；压覆部被配置成至少能将薄膜层的边缘压抵于介质窗的顶面，从而使薄膜层平整贴附于介质窗的顶面，压覆部为非金属材料。本申请使电热丝嵌设于薄膜层，且薄膜层直接放置于介质窗的顶面，不使用铠装结构包裹电热丝，因此电加热器的法拉第屏蔽相对较弱，具有高电磁穿透能力，避免缩小启辉窗口。

天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本106584.4444万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息20条，专利信息125条，此外企业还拥有行政许可11个。

本文源自：金融界

作者：情报员