金融界2025年8月4日消息，国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“检测样品上的缺陷”的专利，公开号CN120418643A，申请日期为2024年02月。

专利摘要显示，提供用于检测样品上的缺陷的方法及系统。一种系统从由检验子系统产生的所述样品的图像的不同组合计算不同候选参考图像且在不修改的情况下组合所述候选参考图像的不同部分以由此产生最终参考图像。接着，将所述最终参考图像用于缺陷检测，其可为单一或双重检测。实施例对于样品的仅包含不可分辨、重复装置图案的区域，比如单元区中的缺陷检测特别有用，但也可用于其它类型的区域的检验。

本文源自：金融界

作者：情报员