金融界2025年8月7日消息,国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“提高单晶particle缺陷良率的方法及其产品”的专利,公开号CN120425449A,申请日期为2025年05月。
专利摘要显示,本发明属于半导体材料加工技术领域,具体涉及一种提高单晶particle缺陷良率的方法及其产品,方法包括在固定拉速下,通过有意地使液口距进行波动,可以改变熔融硅液与晶棒接触界面的条件,从而影响晶棒的生长速率和直径,通过精确控制液口距的波动范围,可以减少晶体中的particle缺陷,提高单晶硅棒的质量及良率。具体来说,当液口距增大时,熔融硅液与晶棒的接触面积减小,可能减缓晶棒的生长速率;反之,当液口距减小时,接触面积增大,可能加快晶棒的生长速率。通过精确控制液口距的波动范围和频率,可以使晶棒的直径在±0.3mm的范围内波动,这种微小的直径变化有助于优化晶棒内部的应力分布和晶体结构,从而减少particle缺陷的产生,将particle缺陷良率提升了18%左右。
天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息295条,此外企业还拥有行政许可25个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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