金融界2025年8月9日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司取得一项名为“等离子体处理装置”的专利，授权公告号CN223206222U，申请日期为2024年08月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种等离子体处理装置，包括：反应腔；衬底支撑件，设置在所述反应腔内，用于承载衬底，该衬底支撑件具有矩形主体；由四个侧壁围成的腔室壁；传片口，设在其中一个所述侧壁上，用于传输所述衬底；以及，设置在反应腔内的传片口屏蔽装置，用于在工艺过程中遮挡传片口的尖端，所述传片口屏蔽装置包括：屏蔽板、连接杆以及设置在反应腔外的传动机构；本申请通过采用介电材料制成的屏蔽板遮挡传片口的尖端，使传片口尖端附近的击穿电压强度远高于传片口的尖端处的电场强度，从而使传片口的尖端不易发生尖端放电现象。

天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62236.3735万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次，财产线索方面有商标信息76条，专利信息1523条，此外企业还拥有行政许可76个。

本文源自：金融界

作者：情报员