金融界2025年8月13日消息,国家知识产权局信息显示,武汉昕微电子科技有限公司申请一项名为“一种3D堆叠芯片的晶圆内部缺陷图像自动识别方法及系统”的专利,公开号CN120471901A,申请日期为2025年05月。

专利摘要显示,本发明公开了一种3D堆叠芯片的晶圆内部缺陷图像自动识别方法及系统,属于半导体制造检测技术领域。该方法基于多模态成像技术同步获取光学、X射线及超声图像数据,通过动态调整成像参数适配不同晶圆层级与材料特性,结合分层滤波去噪、多分辨率配准及自监督深度学习方法提取多模态特征,利用注意力机制定位微米级缺陷。进一步通过强化学习构建缺陷‑工艺参数关联模型,生成闭环工艺优化指令并传输至执行系统。系统包含多模态成像、噪声抑制、深度学习分析及工艺优化模块,支持边缘计算部署。本发明显著提升多层堆叠芯片的内部缺陷检测效率与精度,实现检测‑分析的实时闭环控制,降低晶圆制造质量风险,适用于先进封装产线的智能化缺陷检测。

天眼查资料显示,武汉昕微电子科技有限公司,成立于2023年,位于武汉市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉昕微电子科技有限公司财产线索方面有商标信息3条,专利信息23条,此外企业还拥有行政许可1个。

本文源自:金融界

作者:情报员