金融界2025年8月13日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“使用计算机视觉系统的原位室清洁终点检测系统和方法”的专利，公开号CN120473406A，申请日期为2018年10月。

专利摘要显示，本发明涉及使用计算机视觉系统的原位室清洁终点检测系统和方法。一种系统包括安装在处理室的窗外部并邻近所述窗的相机，所述处理室被配置成处理半导体衬底。所述窗使得所述相机能观察到所述处理室内的部件。所述相机被配置为于在正在所述处理室内执行的处理期间生成指示所述部件的状态的视频信号。该系统还包括耦合到所述处理室上的控制器。该控制器被配置成：控制所述相机；处理来自所述相机的所述视频信号；根据对所述视频信号的所述处理确定所述部件的状态；以及根据所述部件的所述状态确定是否终止所述处理。

本文源自：金融界

作者：情报员